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Qual é a composição da máquina de revestimento a vácuo
o máquina de revestimento a vácuo multifuncional é um equipamento híbrido de magnetron sputtering, multi-arc ion e revestimento de evaporação. É equipado com um alvo cilíndrico ou um alvo magnetron plano com base na máquina de revestimento de íons multi-arco. O equipamento possui alta taxa de ionização de revestimento iônico. , as características de alta velocidade de deposição, e também tem as vantagens de baixa temperatura e estabilidade do magnetron sputtering, adequado para o revestimento de vários filmes compostos.
Máquina de revestimento a vácuo multifuncional - magnetron, frequência intermediária, introdução específica de revestimento de íons multi-arco:
① Equipamento de mistura de transpiração e pulverização de magnetron: multifuncional, adequado para produção em massa e forte adaptabilidade.
②A aplicação mista de magnetron sputtering e multi-arc chapeamento de íons: Multi-arc pode melhorar a qualidade da limpeza do descasque e aumentar a força de ligação entre o filme e o substrato. Trabalhando em conjunto com magnetron sputtering, pode formar filme composto (limpeza e ativação por fonte de íons de alta energia, e a velocidade de formação do filme é rápida).
③Uso misto de múltiplos pares de alvos de pulverização de magnetron de frequência intermediária e chapeamento de íons de arco colunar: o alvo de frequência intermediária é mais estável (como Al), com alta taxa de ionização, taxa de acumulação rápida e formação de filme uniforme. A pulverização reativa de frequência intermediária, como revestimento de SiO2 e TiO2, é usada para revestir várias camadas de diferentes matérias-primas ao mesmo tempo.
④ Aplicação mista de RF, DC, IF e arco de coluna: RF pode revestir diretamente o filme protetor isolante SiO2/Ag/SiO2
⑤ Uso misto de arco cilíndrico, frequência intermediária e multi-arco: O arco cilíndrico garante alta taxa de ionização, reduz a proporção de acúmulo de partículas grandes e alcança o efeito de boa força de ligação e bom acabamento superficial. A máquina de revestimento a vácuo multifuncional é adequada para produtos de médio e alto nível, como pulseiras de relógios, estojos de relógios, armações de óculos, estojos de telefones celulares, equipamentos de golfe, louças sanitárias, acessórios, etc.