Máquina de revestimento a vácuo de evaporação e introdução de princípios físicos- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Evaporação máquina de revestimento a vácuo e introdução de princípios físicos

A máquina de revestimento a vácuo por evaporação é composta principalmente por uma câmara de vácuo e um sistema de bombeamento a vácuo. A câmara de vácuo contém uma fonte de evaporação (isto é, um aquecedor de evaporação), um substrato e um suporte de substrato, um aquecedor de substrato, uma fonte de alimentação, um barco de evaporação e uma haste de eletrodo. O sistema de vácuo inclui bombeamento bruto, bombeamento intermediário, bombeamento fino, etc., incluindo bomba mecânica, bomba Roots, bomba de difusão ou bomba molecular.

O material de revestimento é colocado na fonte de evaporação na câmara de vácuo. Sob condições de alto vácuo, a fonte de evaporação é aquecida para evaporá-la. Quando o caminho livre médio das moléculas de vapor é maior que o tamanho linear da câmara de vácuo, os átomos e moléculas do vapor do filme evaporarão da fonte de evaporação. Depois que a superfície da fonte escapa, ela raramente é colidida e impedida por outras moléculas ou átomos, podendo atingir diretamente a superfície do substrato a ser revestido. Devido à baixa temperatura do substrato, as partículas de vapor do material do filme se condensam sobre ele para formar um filme.

Para melhorar a adesão entre as moléculas evaporadas e o substrato, o substrato pode ser ativado por aquecimento apropriado ou limpeza iônica. O processo físico de revestimento por evaporação a vácuo da evaporação do material, transporte para deposição e formação de filme é o seguinte:

(1) Use vários métodos para converter outras formas de energia em energia térmica, aquecer o material do filme para evaporar ou sublimar e tornar-se partículas gasosas (átomos, moléculas ou grupos atômicos) com uma certa energia (0,1 ~ 0,3 eV):

(2) As partículas gasosas deixam a superfície do material da membrana e são transportadas para a superfície do substrato em linha reta com uma velocidade de movimento substancial sem colisão;

(3) As partículas gasosas que atingem a superfície do substrato se condensam e nucleam e crescem em um filme sólido;

(4) Os átomos que constituem o filme fino são rearranjados ou ligados quimicamente.

A máquina de revestimento a vácuo diária usa tecnologia de evaporação para revestir alumínio, fluoreto de magnésio, ouro, prata, etc., porque eles têm a vantagem de baixo ponto de fusão, o que é conveniente para rápida evaporação e sublimação.