Para atingir o vácuo ideal, a máquina de revestimento a vácuo deve ser equipada com um sistema de bombeamento a vácuo, então a bomba de difusão é um dos componentes essenciais de bombeamento da máquina de revestimento a vácuo. A manutenção da bomba é essencial. Hoje, o editor da Huicheng Vacuum irá detalhar as etapas de manutenção da bomba de difusão da máquina de revestimento a vácuo. Espero que possa te ajudar:
1. Durante a operação da máquina de revestimento a vácuo, a água de resfriamento da bomba de difusão deve ser mantida desobstruída. Após a interrupção do aquecimento, a água de resfriamento deve ser desligada após o resfriamento completo do fluido de trabalho da bomba.
2. Quando a bomba de difusão parar de funcionar, deve-se observar que o estado de vácuo deve ser mantido na bomba para evitar a deterioração do óleo da bomba.
3. O gás a ser bombeado deve ser seco, não corrosivo e livre de poeira.
4. Se a bomba de difusão não for usada temporariamente, ela deve ser mantida em estado de vácuo durante o armazenamento para evitar a poluição do óleo da bomba e a corrosão de várias peças e soprar a água restante na camisa de água de resfriamento. A temperatura ambiente para manter o local deve estar entre 10-40 graus Celsius.
5. O desempenho da bomba de difusão se deteriorará gradualmente após uma operação de longo prazo e deve ser verificado regularmente. Tais como: se o óleo da bomba está reduzido ou oxidado, reabasteça ou substitua de acordo com os requisitos correspondentes; as peças e as câmaras da bomba são primeiro limpas com gasolina de aviação, depois esfregadas com acetona e secas a 80-100 graus Celsius ou secas com um secador de cabelo. Após o tratamento, monte-os em ordem, mantenha o núcleo da bomba e o fundo da bomba na vertical e concêntrico com a cavidade da bomba, e ajuste as folgas dos bicos em todos os níveis de acordo com os requisitos originais.
6. Depois que a água evaporar e secar, instale o núcleo da bomba, adicione novo óleo da bomba de difusão, coloque-o de volta no corpo, conecte o tubo de água e instale o fogão elétrico, então ele pode ser reiniciado.
7. Antes de reiniciar a máquina, preste atenção à detecção de vazamentos. O método é: ligue a bomba de manutenção, feche a porta da câmara de vácuo e, após alguns minutos, observe se o grau de vácuo é 6*10 0 Pa, caso contrário, realize uma detecção de vazamento, verifique se o anel de borracha de vedação está faltando na conexão, ou o anel de vedação é esmagado. O aquecimento só pode ser feito após eliminar o perigo oculto de vazamento de ar, caso contrário, o óleo da bomba de difusão queimará e não poderá entrar no estado de trabalho.
Durante a operação da máquina de revestimento a vácuo, embora a manutenção da bomba de difusão seja essencial, a máquina de revestimento a vácuo é composta por muitos componentes, e a falha de um componente afetará diretamente o funcionamento normal da máquina de revestimento a vácuo. A manutenção da bomba de difusão é imprescindível, e a manutenção de outros componentes também é indispensável.