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As máquinas de revestimento a vácuo podem ser classificadas por indústria
Máquinas de revestimento a vácuo podem ser classificados de acordo com a indústria, como máquinas de revestimento a vácuo de lentes, máquinas de revestimento de produtos eletrônicos, máquinas de revestimento de filtro, etc. todos pertencem a máquinas de revestimento óptico, como máquinas de revestimento a vácuo de embalagem, máquinas de revestimento a vácuo antifalsificação, vácuo de enrolamento de capacitor máquinas de revestimento E assim por diante pertencem à máquina de revestimento de enrolamento. Como máquina de revestimento a vácuo de íon multi-arco, máquina de revestimento a vácuo de decoração de hardware, máquina de revestimento por evaporação de alto vácuo, máquina de revestimento a vácuo de telha cerâmica, pertencente à máquina de revestimento de íon decorativo. Mas muitas pessoas também serão classificadas de acordo com a função do forno a vácuo
Máquina de revestimento a vácuo
De acordo com o princípio do filme fino, ele pode ser dividido em revestimento de pulverização catódica, revestimento de íons, revestimento de evaporação e revestimento de deposição de vapor químico. De acordo com a finalidade da aplicação, pode ser dividido em revestimento óptico, revestimento de enrolamento, revestimento de decoração, revestimento de tubo coletor solar, revestimento de ferramenta, revestimento arquitetônico, revestimento condutor e assim por diante.
Máquina de revestimento por evaporação a vácuo
O equipamento de revestimento por evaporação é o primeiro equipamento de revestimento desenvolvido com sucesso entre todos os equipamentos de revestimento na China. Foi desenvolvido com sucesso na China na década de 1950. Existem muitas variedades de equipamentos de revestimento por evaporação, incluindo equipamentos de revestimento óptico para revestimento de filmes ópticos, usados principalmente para equipamentos ópticos, equipamentos a laser e equipamentos microeletrônicos, etc., bem como equipamentos de revestimento de enrolamento feitos pelo princípio de revestimento por evaporação, usados em decoração , embalagens de equipamentos eletrônicos e outras indústrias.
Revestidor de pulverização
O alvo iônico é pulverizado e depositado no substrato para formar um filme fino. O equipamento de revestimento por pulverização catódica pode revestir vários filmes finos, como filme condutor ITO, filme dielétrico, filme semicondutor, filme metálico, filme magnético, filme supercondutor de alta temperatura, filme de cristal único, filme de decoração, etc., chapeamento de filme de disco. Filme de vidro de parede cortina usado na indústria da construção, filme de capacitor na indústria eletrônica, filme liso sólido em veículos aeroespaciais, célula solar em energia e gás, embalagem, tecnologia de infravermelho e muitas outras indústrias.
Revestidor de íons
Os equipamentos de galvanoplastia podem ser divididos em galvanoplastia por arco, eletrodeposição por descarga de radiofrequência, eletrodeposição catódica oca, etc. É amplamente utilizado em ferramentas, moldes e outras indústrias, e pode ser revestido com filme de metal, filme duro, imitação de filme de ouro e assim por diante.
equipamento de deposição de vapor químico
O equipamento de deposição de vapor químico é um método de reação química para fazer filmes, que podem ser usados para revestir filmes protetores de superfície e materiais semicondutores e eletrônicos.
Equipamento de gravação por feixe de íons
Como uma tecnologia de processamento ultrafino na indústria de semicondutores, a gravação tornou-se um dispositivo indispensável e importante com o aumento da integração de circuitos integrados de grande escala. Em comparação com outras tecnologias de corrosão química, pulverização de plasma e outras tecnologias, a tecnologia de gravação por feixe de íons não tem seletividade para o processamento de materiais, pode realizar processamento ultrafino e pode gravar sulcos muito finos. A borda do padrão gravado é clara e a precisão é alta. . Os equipamentos de gravação por feixe de íons podem ser divididos em tipos verticais e horizontais. O sistema de vácuo de equipamentos domésticos é baseado principalmente em bomba de dispersão de óleo e defletor refrigerado a água, e países estrangeiros costumam usar sistema de bombeamento criogênico.
Forno a vácuo
O desenvolvimento de fornos a vácuo na China começou no final da década de 1950. O primeiro forno de indução a vácuo de 10 kg foi desenvolvido em Shenyang em 1958 e foi julgado em 1960. Atualmente, existem muitos tipos de fornos a vácuo produzidos na China, que podem ser divididos em fornos metalúrgicos e fornos de tratamento térmico. Entre eles, os fornos metalúrgicos incluem: forno de resistência a vácuo, forno de sinterização a vácuo, forno elétrico a arco a vácuo, forno de indução a vácuo, forno monocristalino e equipamentos de brasagem a vácuo, etc.; Forno de tratamento térmico a vácuo inclui: forno de têmpera a vácuo, forno de têmpera, forno de recozimento, forno de cementação, forno de nitretação de íons incandescentes, etc.
Forno de resistência a vácuo
Os fornos de resistência a vácuo usam resistência para aquecer peças ou materiais sob condições de vácuo. Usado principalmente para recozimento e desgaseificação a vácuo de metais vivos, insolúveis ou algumas ligas magnéticas. Existem muitos tipos de fornos de resistência, que podem ser divididos em vertical, horizontal, aquecimento interno, aquecimento externo e assim por diante, de acordo com diferentes métodos.
Forno de sinterização a vácuo
O forno de sinterização a vácuo é usado principalmente para a sinterização de metal duro, materiais cerâmicos, materiais magnéticos, materiais refratários raros, produtos metálicos em pó, componentes optoeletrônicos e outros materiais. As informações sobre o tratamento de sinterização são diferentes. As variedades de fornos de sinterização a vácuo incluem fornos de sinterização de alta temperatura até 2.000 ℃ e fornos de sinterização de alto vácuo com maior grau de vácuo.
Forno de arco a vácuo
O forno a arco a vácuo utiliza o arco gerado pela descarga do arco para fundir a peça ou material. Pode ser usado para moagem de zircônio e metais insolúveis em conjunto com o método de cobre. Os tipos de fornos a arco elétrico a vácuo podem ser divididos em fornos consumíveis, fornos não consumíveis e fornos de concha de condensação, etc.
Forno de indução a vácuo
O forno de indução a vácuo usa indução eletromagnética para aquecer o cadinho no forno e funde metais e ligas em estado de vácuo. Pode fundir ligas finas, materiais magnéticos, metais ativos e metais insolúveis.
As máquinas de revestimento a vácuo são classificadas de acordo com as funções dos fornos a vácuo, e a maioria delas é classificada por indústria. No entanto, em termos de unidades industriais e classificadas por fornos a vácuo, há mais.
O revestimento de íons multiarco introduz vários modos de descarga de gás no campo de deposição de vapor sob situação de vácuo. Todo o processo de deposição de vapor é realizado em processo de plasma. Pode ser revestido não apenas na superfície de produtos metálicos, mas também na superfície de produtos não metálicos. Pode ser revestido com filme de metal, nitreto de titânio, carboneto de titânio, nitreto de zircônio, nitreto de cromo, óxido de titânio e outros filmes.