Atualmente, a maioria dos filmes duros mecanicamente funcionais (especialmente os filmes usados ​​para ferramentas de corte) no mundo usam a tecnologia de deposição de arco catódico. Desempenho do aplicativo; especialmente o problema de partículas do equipamento de deposição de arco catódico fabricado internamente é particularmente sério. A introdução da tecnologia de filtragem magnética com base nesta tecnologia pode resolver o problema de partículas depositadas na superfície, mas a eficiência de deposição é apenas cerca de 1/10 do original, e a área de deposição é pequena, de modo que o ciclo de produção é longo, o custo de fabricação é alto e não é adequado para revestimento em massa. aplicações de produção. A superfície do filme preparado pela tecnologia de pulverização de magnetron é lisa e delicada, a taxa de deposição é moderada e o filme pode ser depositado uniformemente em uma grande área. No entanto, a tecnologia de magnetron sputtering também tem uma baixa taxa de ionização (geralmente 10%), e o filme preparado não é tão bom quanto o filme preparado pela tecnologia de arco catódico em termos de dureza, resistência ao desgaste e força de ligação; revestimento reativo químico é realizado. (como TiN, TiO2), devido à baixa taxa de ionização e baixa reatividade das partículas metálicas, gás reativo deve ser introduzido em excesso, causando envenenamento (reação química) da superfície alvo do magnetron, causando uma série de avalanches como redução da taxa de evaporação. Como resultado, o revestimento reativo de pulverização de magnetron é instável e incontrolável.

Portanto, existem máquinas de revestimento a vácuo de íons multifuncionais no mercado. Através de um grande número de experimentos e aplicações industriais, o projeto chegou às seguintes conclusões:

(1) A máquina de revestimento iônico multifuncional projetada com várias tecnologias de revestimento é bem-sucedida, e o desempenho abrangente do sistema de revestimento estabelecido está em uma posição de liderança na China.

(2) O equipamento pode preparar filme tipo diamante e filme multicamada composto de nitrogênio metálico (ou carbono) com superfície lisa e densa, superfície lisa e delicada e excelente desempenho em grande área e baixo custo.

(3) O uso de uma camada de transição intermediária de gradiente multicamada especial e tecnologia de dopagem reduz o estresse interno, melhora a força de ligação filme/substrato e é propício ao crescimento da camada de filme (até 6 mm de espessura).

(4) O filme DLC preparado possui excelentes propriedades abrangentes: dureza>20GPa (até 37,25GPa), espessura ajustável (até 6mm de espessura), força de ligação filme/base>50N (até 100N), coeficiente de atrito <0,2, o filme é suave e delicado.

(5) A matriz desenvolvida/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC multicamada resistente ao desgaste e revestimento autolubrificante resistente ao calor tem boas propriedades abrangentes: a dureza é de até 28.7GPa, a espessura é ajustável de 1-4mm, e o filme A força de ligação /base é maior que 70N, e o coeficiente de atrito é menor que 0,2.

(6) O filme desenvolvido resistente ao desgaste e antifricção foi aplicado com sucesso a uma variedade de moldes de alta precisão e componentes-chave de precisão. Os resultados da aplicação mostram que o efeito de fortalecimento da superfície da camada de filme é notável, o que pode melhorar muito a qualidade do produto e a vida útil.

Máquina de revestimento tribológico de aço inoxidável para metal

O revestimento de íons multiarco introduz vários modos de descarga de gás no campo de deposição de vapor sob situação de vácuo. Todo o processo de deposição de vapor é realizado em processo de plasma. Pode ser revestido não apenas na superfície de produtos metálicos, mas também na superfície de produtos não metálicos. Pode ser revestido com filme de metal, nitreto de titânio, carboneto de titânio, nitreto de zircônio, nitreto de cromo, óxido de titânio e outros filmes.