o máquina de revestimento a vácuo por pulverização catódica magnetron consiste em muitos componentes, cada um dos quais tem seu próprio uso exclusivo e é indispensável. A máquina de revestimento a vácuo por pulverização catódica com magnetron consiste em um sistema de vácuo, um sistema tradicional, um sistema de aquecimento, um sistema de resfriamento, um sistema de distribuição de ar de processo e um sistema de pulverização catódica por magnetron.

Sistema de vácuo: O equipamento do sistema de vácuo está concentrado na área da câmara de vácuo, consistindo em equipamento de bombeamento (bomba mecânica, bomba Roots, bomba molecular), equipamento de teste (medidor de resistência, medidor de ionização, medidor de membrana), válvula de segurança (válvula de gaveta de cavidade, bomba molecular) válvula de palheta, bomba de palhetas rotativas, válvula autoescorvante da bomba Roots, válvula de tubulação e válvula de quebra de ar); através da bomba de palhetas rotativas > bomba Roots > bombeamento de relé da bomba molecular, a pressão na câmara é alterada da atmosfera para o vácuo, e em Manter um ambiente de vácuo adequado para a produção durante o processo de produção.

O princípio de funcionamento da bomba de vácuo de palhetas rotativas, bomba de palhetas rotativas é composto de estator, rotor, palhetas rotativas, tampa fixa, mola e outras peças. Sua estrutura é utilizar o rotor excêntrico instalado na cavidade do prego (o círculo externo do rotor é tangente à superfície interna do estator e a folga entre os dois é muito pequena) e os dois rotores que deslizam na ranhura do rotor e aderir à parede interna do estator por meio de tensão de mola e força centrífuga. Quando o rotor gira, ele sempre desliza ao longo da parede interna do estator.

No medidor de vácuo termopar, uma corrente de intensidade constante é passada através do fio de Pt como um fio quente. Depois de atingir o equilíbrio térmico, a potência de aquecimento fornecida pela corrente é igual à potência perdida pela radiação de calor do espaço, condução de calor de metal e condução de calor molecular de gás. Portanto, a temperatura do fio quente mudará regularmente com o grau de vácuo.

O medidor Pirani é chamado de medidor de vácuo de resistência térmica, seu princípio de funcionamento é semelhante ao do medidor de vácuo termopar. Um medidor de alto vácuo, geralmente usado em conjunto com um medidor de termopar, é chamado de medidor de ionização e é a ferramenta de medição mais comumente usada na faixa de alto vácuo.

O medidor de vácuo do tipo filme a vácuo é um tipo de medidor de vácuo que depende do filme de metal para gerar deslocamento mecânico sob a ação da diferença de pressão do gás, para que possa ser usado para medição absoluta da pressão do gás, e o resultado da medição não tem nada a ver com o tipo de gás .

O medidor de vácuo de membrana possui duas câmaras de vácuo isoladas. Quando a pressão em uma câmara de vácuo é conhecida e a pressão na outra câmara de vácuo é desconhecida, o deslocamento da membrana será proporcional à diferença de pressão entre as duas câmaras. Proporcional, para melhorar a precisão da medição, o deslocamento do filme é obtido medindo a variação da capacitância entre o filme e outro eletrodo metálico.

Em uma ampla faixa, o medidor de vácuo de filme fino tem boa linearidade e seu limite de detecção é de cerca de 10-3pa, o que equivale à detecção do deslocamento de filme fino em apenas uma escala atômica.

O sistema de transmissão da máquina de revestimento a vácuo por pulverização catódica magnetron: o sistema tradicional tem um total de 24 motores de acionamento, 4 para cada plataforma de carga e descarga, 11 para a área de processo e 5 para a seção de retorno. Além da transmissão, o resto dos eletrodos são de transmissão unidirecional;

Máquina de revestimento por pulverização catódica magnética DC

Corpo completo da máquina com aço inoxidável de alta qualidade304, design de água de resfriamento de camada dupla

Vários conjuntos de fontes de arco de íons recém-desenvolvidas são razoavelmente equipadas para garantir efetivamente a estabilidade e a uniformidade da pulverização catódica da fonte de arco.

O sistema de admissão de ar multicanal é adotado para controlar com precisão o fluxo de gás para atender aos seus requisitos para uma variedade de filmes compostos.

Combinado com a tecnologia de polarização de pulso, a energia da partícula elétrica é muito melhorada, de modo a obter excelente adesão e acabamento do filme.

O equipamento é amplamente utilizado em: produtos de hardware, artesanato em vidro, artesanato em cerâmica, como produtos de banheiro, relógios, facas, moldes, vidro de cristal, ferramentas de golfe, luminárias, armações de óculos, ladrilhos de cerâmica, ladrilhos, etc.

Materiais de processo: aço inoxidável, cobre, ferro, liga de zinco, alumínio, ABS, vidro, cerâmica, etc.

O estado da superfície dos materiais do processo: superfície brilhante de galvanoplastia comum, superfície burra (semi burra, totalmente burra), rugas de galvanoplastia de processo, pincel, pingos de chuva, etc.

As cores do revestimento são: translúcido, ouro, prata, ouro rosa, preto, preto escuro, verde, azul, roxo, arco-íris, etc.